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真空泵

介紹:

真空泵

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致力于為真空泵,真空機(jī)組等真空設(shè)備企業(yè)帶來商機(jī).。真空泵產(chǎn)業(yè)網(wǎng)原真空泵網(wǎng)是真空設(shè)備領(lǐng)域?qū)I(yè)門戶,水環(huán)式真空泵等真空泵行業(yè),服務(wù)于羅茨泵,真空鍍膜。

真空設(shè)備,真空泵,發(fā)布求購,供應(yīng)信息。真空機(jī)組。

發(fā)明歷程/真空泵

1647年有一位法國物理學(xué)家叫羅伯維爾(G.Roberval),做了一個有趣的實(shí)驗(yàn),他從鯉魚肚里取出魚鰾,盡可能將里面空氣排盡,再把開口扎緊,放在托里拆利真空區(qū)內(nèi),結(jié)果魚鰾膨脹起來。這個實(shí)驗(yàn)令人信服地說明了,大氣壓下留在魚鰾中的殘余空氣,當(dāng)外部氣壓減小到零時,會膨脹為很大的體積。不久有人著書評述了這個實(shí)驗(yàn),認(rèn)為空氣具有彈性,就好像海綿或羊毛一樣,受到壓力會收縮,壓力減輕會膨脹。德國人格里克在事先不知道托里拆利實(shí)驗(yàn)的情況下也發(fā)現(xiàn)了真空。他的經(jīng)歷饒有興趣。有一一天,他讓家人用唧筒抽酒桶中的水,在抽的過程中唧筒脫落了,他們用布條重新綁好,由于填塞過嚴(yán),桶口封住了,結(jié)果把桶內(nèi)的空氣也抽掉了,只聽得里面一片沸騰的噪音。格里克從這件事得到啟發(fā),就用銅球殼代替木桶,讓家人再用唧筒抽。家人越抽越費(fèi)勁,較后只聽嘭的一聲,銅球塌癟了。

1654年,格里克為了向公眾演示抽氣實(shí)驗(yàn),他安排了兩個引人注目的表演。由于他那時是德國馬德堡市的市長,所以這兩個實(shí)驗(yàn)也叫馬德堡半球?qū)嶒?yàn)。
實(shí)驗(yàn)之一,兩個嚴(yán)密對接的半球形金屬殼,中間抽空后,用16匹馬也沒有將兩金屬殼拉開。
實(shí)驗(yàn)之二,一對抽空的半球吊在支架上,可以承受非常大的負(fù)荷。格里克沒有對吸力的起因提供解釋,他的貢獻(xiàn),主要是發(fā)明了真空泵。
馬德堡市長的新奇實(shí)驗(yàn)轟動了德國,當(dāng)消息傳到英吉利海峽對岸時,引起一番波瀾,又有人做了許多新奇實(shí)驗(yàn)。其中一位就是大名鼎鼎的玻意耳。

機(jī)械選擇/真空泵

選擇真空泵注意事項(xiàng)真空泵使用準(zhǔn)備

1、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。6、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。8、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,*能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。9、真空泵的價格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。

維護(hù)保養(yǎng)/真空泵

1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。

2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保真空泵工作正常。

3、換油期限按實(shí)際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。

4、一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查桷膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理,確保管路暢通。

6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行,一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時并換油二次,因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。

7、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵,試看真空泵是否靈活。

8、向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機(jī)油,觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處,潤滑油應(yīng)及時更換或補(bǔ)充。

9、擰下真空泵泵體的引水螺塞,灌注引水(或引漿)。

10、關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。

11、點(diǎn)動電機(jī),試看電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。

12、開動電機(jī),當(dāng)真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)后,打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵,視其顯示出適當(dāng)壓力后,逐漸打開閘閥,同時檢查電機(jī)負(fù)荷情況。

13、盡量控制真空泵的流量和揚(yáng)程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi),以保證真空泵在*效率點(diǎn)運(yùn)轉(zhuǎn),才能獲得*節(jié)能效果。

14、真空泵在運(yùn)行過程中,軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C,*溫度不得超過80C 。

15、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

16、真空泵要停止使用時,先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機(jī)。

17、真空泵在工作*月內(nèi),經(jīng)100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。

18、經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋,保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜)。

19、定期檢查軸套的磨損情況,磨損較大后應(yīng)及時更換。

20、真空泵在寒冬季節(jié)使用時,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。

21、真空泵長期停用,需將泵全部拆開,擦干水分,將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好,妥善保管。

機(jī)械原理/真空泵

GG-17玻璃膨脹系數(shù)低,能更好地耐受很高的溫度差變,故該泵比同型泵能受得起高溫而且使用壽命也更長。該泵適用于電子工業(yè),如電子管。顯像管。X光管,以及半導(dǎo)體單晶硅的冶煉提純,高沸點(diǎn)的油脂蒸餾提純分離,日光燈,保溫瓶高真空排氣的儀器。 先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴(kuò)散泵油被加熱沸騰,以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),待氣體密度達(dá)到機(jī)械真空泵的工作范圍而被抽出,從而逐漸獲得高真空。水環(huán)真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),稱為水環(huán)式壓縮機(jī),是屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
水環(huán)泵最初用作自吸水泵,而后逐漸用于石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中,如真空過濾、真空引水、真空送料、真空蒸發(fā)、真空濃縮、真空回潮和真空脫氣等,水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵、含水的氣體,因此,水環(huán)泵應(yīng)用日益增多。
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?br />羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。
羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時,由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時,氣體排出泵外。

機(jī)械使用/真空泵

在真空泵中真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì),還對機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。
主要性能要求:
1.極低的蒸氣壓
這是真空泵油的最重要的性能,由于真空泵要求真空度很高,一般用石蠟基窄餾分潤滑油,對于擴(kuò)散真空泵,還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
2.合適的粘度和良好的粘溫特性
真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用,要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。
3.良好的熱氧化安定性
真空泵不斷向高速度發(fā)展,由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高,油品很容易氧化分解,尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作,使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高,真空度降低,因此要求真空泵油具有良好的熱氧化安定性。
4.良好的抗腐蝕性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體,會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng),腐蝕泵內(nèi)零件;吸入空氣中往往含有水汽冷凝水,引起真空泵油的乳化并使金屬腐蝕,所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
5.較高的閃點(diǎn)
主要要求真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分,以免影響油品的飽和蒸氣壓。
6.較低的極限壓力
極限壓力是真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在*真空極限壓力下真空泵的極限壓力。

常見問題及維修方法/真空泵

泵軸軸承位磨損

真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題,其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位,傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主,但兩者均存在一定弊端:補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除,易造成材質(zhì)損傷,導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂;而電刷鍍受涂層厚度限制,容易剝落,且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬,無法改變“硬對硬”的配合關(guān)系,在各力綜合作用下,仍會造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對以上問題多使用高分子復(fù)合材料的修復(fù)方法,而應(yīng)用較多的有美國美嘉華技術(shù)體系,其具有超強(qiáng)的粘著力,優(yōu)異的抗壓強(qiáng)度等綜合性能。應(yīng)用高分子材料修復(fù),可免拆卸,免機(jī)加工。既無補(bǔ)焊熱應(yīng)力影響,修復(fù)厚度也不受限制,同時產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性,可吸收設(shè)備的沖擊震動,避免再次磨損的可能,并大大延長設(shè)備部件的使用壽命,為企業(yè)節(jié)省大量的停機(jī)時間,創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟(jì)價值。

腐蝕

真空泵腐蝕的形態(tài)可分為全面(均勻)腐蝕和局部腐蝕兩大類,前者較均勻的發(fā)生在真空泵全部表面,后者只是發(fā)生在局部,如孔蝕、縫隙腐蝕、晶間腐蝕、應(yīng)力腐蝕等。采用高分子復(fù)合材料對真空泵實(shí)施表面有機(jī)涂層防腐,其具有良好的耐化學(xué)性能及優(yōu)異的力學(xué)性能和粘接性能,與傳統(tǒng)的壓力容器焊接修補(bǔ)相比,具有施工簡便、成本低、安全性能,修復(fù)效果好的特點(diǎn)。

殼體裂紋破裂

真空泵因鑄造、加工缺陷,內(nèi)應(yīng)力及超負(fù)荷運(yùn)行等原因經(jīng)常導(dǎo)致部件出現(xiàn)裂紋或斷裂現(xiàn)象。常規(guī)的修復(fù)方法是采用焊接,但有的零件材質(zhì)是鑄鐵、鋁合金、鈦合金,難以做焊接處理。還有一些易于發(fā)生爆炸的危險(xiǎn)場合,更不易采用焊接修復(fù)方法。美嘉華技術(shù)是一種“冷焊”技術(shù),可以避免熱應(yīng)力變形,同時材料良好的附著力和抗壓、抗腐蝕等綜合性能,可以*限度地滿足各種設(shè)備部件的使用要求,從而在*成本的投入下有效保證生產(chǎn)。安全、方便、可靠。

性能參數(shù)/真空泵

壓強(qiáng)范圍
真空泵種類 工作壓強(qiáng)范圍(Pa) 起動壓強(qiáng)(Pa)
活塞式真空泵 1×105~1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水環(huán)式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
羅茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
渦輪分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸氣噴射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油擴(kuò)散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸氣噴射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子篩吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
濺射離子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
鈦升華泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
鋯鋁吸氣劑泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低溫泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1

類型/真空泵

液環(huán)泵雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在*的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在*投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),不斷擴(kuò)大在*的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產(chǎn)品,所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì),縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。滑閥泵由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在*尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國際市場,必須進(jìn)一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運(yùn)行的可靠性。直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各個應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,直聯(lián)旋片泵的需求量越來越大。由于這種泵數(shù)量很多,加工裝配工作量很大,價格又很低,所以有的國外真空廠商在*建立專業(yè)廠。國產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過關(guān),價格又遠(yuǎn)比國外的泵便宜,所以國產(chǎn)泵仍然有競爭優(yōu)勢,單級直聯(lián)旋片式真空泵(XD系列、高仿進(jìn)口系列),一根主軸三片旋片。泵與電機(jī)是直聯(lián)。特點(diǎn)是嗓音小、噪音低、排氣潔凈等明顯優(yōu)點(diǎn),是粗抽真空泵系列應(yīng)用較為廣泛的真空泵,使用品牌比較常見為進(jìn)口真空泵,現(xiàn)國內(nèi)也有少數(shù)不多的幾家真空泵廠生產(chǎn)出能完全代替進(jìn)口真空泵使用的國產(chǎn)真空泵,成為國內(nèi)比較受歡迎的幾個粗抽真空泵品牌之一。

工作原理:旋片式真空泵(簡稱旋片泵)是一種油封式機(jī)械真空泵。其工作壓強(qiáng)范圍為101325~1.33×10-2(Pa)屬于低真空泵。它可以單獨(dú)使用,也可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級泵。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械、軍工、電子、化工、輕工、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,若附有氣鎮(zhèn)裝置,還可以抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過高的,對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片泵是真空技術(shù)中最基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級,就是在結(jié)構(gòu)上將兩個單級泵串聯(lián)起來。一般多做成雙級的,以獲得較高的真空度。
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉(zhuǎn)時,靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。

羅茨泵

從國外羅茨泵生產(chǎn)情況來看,國外幾家大公司,如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC,他們各家羅茨泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒超過5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大,但國外羅茨泵的價格遠(yuǎn)比國產(chǎn)泵要高得多。目前,國內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng),為了縮短抽氣時間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵,所以國產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國內(nèi)市場基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國際市場,這樣就必須進(jìn)一步降低國產(chǎn)羅茨泵的振動噪聲,徹底解決軸封漏油問題,改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量,提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外,還要考慮到有些國家和地區(qū)的電源頻率為60Hz,更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長期運(yùn)行的可靠性。

目前,國內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快,技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器,其中一部分被冷卻的氣體通過管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子,從而使壓縮熱得到平衡,所以這種泵可以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的要求,這種泵可以串聯(lián)使用,一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵,所達(dá)到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒有工作介質(zhì),實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運(yùn)行的考驗(yàn),所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

分子泵分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著*半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是*真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。干泵國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì),目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口,其價格十分昂貴。所以,*應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為*真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長點(diǎn)。產(chǎn)品展示
旋片真空泵的抽速范圍為0.5~150升/秒(1升=10-3米3),工作壓力范圍一般為1×105~1帕,較大抽速的壓力范圍為1×105~13帕。極限壓力:單級泵為1帕,雙級泵為6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只適于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的氣體(對于后者須裝氣鎮(zhèn)閥),不適于抽除含氧過高、爆炸性、腐蝕性、對泵油起化學(xué)作用和含有固體顆粒的氣體。在真空系統(tǒng)中,這種泵可單獨(dú)使用,或作為增壓泵、擴(kuò)散泵等的前級泵。
環(huán)式真空泵(簡稱水環(huán)泵)是一種粗真空泵,它所能獲得的極限壓力,對于單級泵為2.66~9.31kPa;對于雙級泵為0.133~0.665kPa。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),它屬于低壓的壓縮機(jī),其壓力范圍為(1~2)X105Pa表壓力(在特定的條件下)。水環(huán)泵在石油、化工、機(jī)械、礦山、輕工、造紙、動力、冶金、醫(yī)藥和食品等工業(yè)及市政與農(nóng)業(yè)等部門的許多工藝過程中,如真空過濾、真空送料、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空濃縮和真空回潮等,得到了廣泛的應(yīng)用,由于水環(huán)泵壓縮氣體的過程是等溫的,故可抽除易燃、易爆的氣體,此外還可抽除含塵,含水的氣體,因此,水環(huán)泵的應(yīng)用日益增大。

水環(huán)泵是由葉輪、泵體、吸排氣盤、水在泵體內(nèi)壁形成的水環(huán)、吸氣口、排氣口、輔助排氣閥等組成的。


無油式真空泵是以循環(huán)水作為工作流體的噴射真空泵,是利用流體射流產(chǎn)生負(fù)壓而設(shè)計(jì)的一種新型真空抽氣真空泵,同時還能向反應(yīng)裝置中提供循環(huán)冷卻水,特別是在水壓不足或缺水源的實(shí)驗(yàn)室更顯之優(yōu)越,真空泵廣泛用于蒸發(fā)、蒸餾、結(jié)晶、干燥、過濾減壓、升華等。是大專院校、醫(yī)藥化工、食品加工等實(shí)驗(yàn)的理想設(shè)備。
1.一機(jī)多用多管作業(yè),本機(jī)裝有三套抽氣頭,可單獨(dú)或并聯(lián)使用;
2.噪音小,移動方便;
3.無污染,本機(jī)箱體為聚氯乙烯塑料,外殼采用冷板靜電噴塑。
羅茨泵在泵腔內(nèi),有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空泵需要前級泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹

真空泵的功能特點(diǎn)分類

凡是從設(shè)備中抽出氣體,使設(shè)備內(nèi)部達(dá)到真空的機(jī)械稱為真空抽氣機(jī)或真空泵。
從結(jié)構(gòu)上真空泵大致可分為:往復(fù)式真空泵、回轉(zhuǎn)式真空泵和射流式真空泵等。

1、往復(fù)式真空泵。往復(fù)式真空泵適用于抽送不含固體顆粒、無腐蝕性的氣體。這種真空泵的抽氣速率較大,真空度較高。故在化工廠中廣泛應(yīng)用。但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,維修量大。

2、水環(huán)真空泵。水環(huán)式真空泵是回轉(zhuǎn)真空泵的一種。

3、射流式真空泵。射流式真空泵是利用一種壓力較高的工作流體來輸送另一種流體。

循環(huán)水真空泵廣泛用于蒸發(fā)蒸餾、結(jié)晶、過濾、減壓、升華等作業(yè),低溫冷卻循環(huán)水真空泵是真空泵和低溫冷卻泵的結(jié)合。即可以抽真空,又可以提供低溫冷卻循環(huán)水,是減壓蒸餾和減壓濃縮的良好輔助設(shè)備,特別適應(yīng)配備旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)器,不但減少了使用空間,而且降低了真空度,節(jié)省了水資源,被現(xiàn)代實(shí)驗(yàn)室廣泛裝備。



機(jī)械分類/真空泵

按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。氣體輸送泵包括:1、液環(huán)真空泵(水環(huán)式真空泵)2、往復(fù)式真空泵3、旋片式真空泵4、旋片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、干式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、復(fù)合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴(kuò)散泵等。氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。工業(yè)中應(yīng)用最多的是水環(huán)式真空泵和旋片式真空泵等。

2SK、2SK-P1系列雙級水環(huán)式真空泵

主要用來抽除空氣和其它有一定腐蝕性、不溶于水、允許含有少量固體顆粒的氣體。廣泛用于食品、紡織、醫(yī)藥、化工等行業(yè)的真空蒸發(fā)、濃縮、浸漬、干燥等工藝過程中。該型泵具有真空度高、結(jié)構(gòu)簡單,使用方便、工作可靠、維護(hù)方便的特點(diǎn)。

JZJS型羅茨——水環(huán)泵機(jī)組

本機(jī)組由于采用水環(huán)泵作為前級泵,因而特別適用于抽除含有大量水蒸氣和帶有一定腐蝕性和可凝性氣體的工藝過程中。如:真空蒸餾、蒸發(fā)、脫水、結(jié)晶、干燥等工藝過程中JZJX 型羅茨一旋片泵機(jī)組 ( Model JZJX Roots-Sliding Vane Rotary Vacuum Pump System )是以羅茨泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成。其結(jié)構(gòu)緊湊,操作方便。適用于抽除空氣及其它無可凝性及無腐蝕性的氣體,廣泛應(yīng)用于需要大抽速和高真空的各種真這系統(tǒng)中。如:真空冶煉,電力電容器,變壓器,真空浸漬處理,真空鍍膜設(shè)備中的預(yù)抽等。

W型往復(fù)式真空泵

是獲得粗真空的主要真空設(shè)備之一。廣泛應(yīng)用于化工,食品,建材等部門,特別是在真空結(jié)晶,干燥,過濾,蒸發(fā)等工藝過程中更為適宜。

2X型旋片式真空泵

用來抽除密閉容器的氣體的基本設(shè)備之一。它可以單獨(dú)使用,也可作為增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵的前級泵使用。該型泵廣泛應(yīng)用于冶金、機(jī)械、電子、化工、石油、醫(yī)藥等行業(yè)的真空冶煉、真空鍍膜、真空熱處理,真空干燥等工藝過程中。


2XZ型旋片式真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點(diǎn)。所以,它適用于作擴(kuò)散泵的前級泵,而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如:質(zhì)譜儀器,冰箱流水線,真空冷凍干燥機(jī)等。XD型旋片式真空泵可以在任意入口壓強(qiáng)下工作,已普遍應(yīng)用于食品的真空包裝,塑料工業(yè)的真空吸塑成形。印刷行業(yè)的紙張輸送,真空夾具,以及真空吸引等。SZ、SK系列水環(huán)式真空泵( Model SZ Water Ring Vacuum Pump )主要用于粗真空。抽氣量大的工藝過程中。它主要用來抽除空氣和其它無腐蝕,不溶于水,含有少量固體顆粒的氣體,以便在密閉容器中形成真空。所吸氣體中允許混有少量液體。它被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、制藥、食品、石油化工等行業(yè)中。

特點(diǎn)及注意事項(xiàng)/真空泵

真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍,至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此,為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到*配置,選擇真空系統(tǒng)時,應(yīng)考慮下述各點(diǎn):確定工作真空范圍

首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因?yàn)槊恳环N工藝都有其適應(yīng)的真空度范圍,必須認(rèn)真研究確定之。

確定極限真空度

在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。

被抽氣體種類與抽氣量

檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。

真空容積檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。主真空泵的選擇計(jì)算

s=2.303v/tlog(p1/p2)

其中:

s為真空泵抽氣速率(l/s)

v為真空室容積(l)

t為達(dá)到要求真空度所需時間(s)

p1為初始真空度(torr)

p2為要求真空度(torr)

真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)荩婵毡庙氂星凹壉门浜戏娇墒褂迷谳^寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。
真空泵也有如下特點(diǎn):
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)壓縮比較低,對氫氣抽氣效果差;
(5)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感;
(6)轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅(qū)動功率,從而可實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速;
目前,真空泵已被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。所以,真空泵的好壞決定著我們冶金、化工等行業(yè)的發(fā)展,那么我們在使用真空泵時就需要注意一些相關(guān)事項(xiàng),*限度的將它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)溶劑時,有機(jī)溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓,從而降低了抽空效能,如果是酸性氣體,那就會腐蝕油泵,如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞真空泵。

 機(jī)械簡介/真空泵

真空泵廣泛用于塑料機(jī)械、農(nóng)藥化工、染料化工、磚瓦機(jī)械、低溫設(shè)備、造紙機(jī)械、醫(yī)藥化工、食品機(jī)械、工業(yè)電爐、電子行業(yè)、真空設(shè)備、化肥、冶金、石油、礦山、地基處理等領(lǐng)域。還提供真空泵咨詢、真空泵問題解決、真空泵調(diào)試、真空泵維修保養(yǎng)等服務(wù)。2BA型水環(huán)式真空泵是為滿足真空泵可帶水吸氣這一要求,在原SKF型和2FA型水環(huán)式真空泵的基礎(chǔ)上,自行開發(fā)研制而成的新一代水環(huán)式真空泵。它設(shè)計(jì)先進(jìn)、結(jié)構(gòu)新穎,適用于各種較為苛刻、復(fù)雜的應(yīng)用領(lǐng)域。它可抽吸含有大量水氣,可凝汽的介質(zhì),在抽吸易燃,易爆或有毒、有腐蝕性氣體時不易發(fā)生危險(xiǎn),故可廣泛應(yīng)用于機(jī)械、石油、化工、電力、制藥、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、塑料、瓦磚、皮革等行業(yè),特別適用于塑料配套使用,2BA型水環(huán)式真空泵分別取代SZ、SK、2SK-3、2SK-6、2S-185、2SK-230和W型往復(fù)式真空泵。人們在使用過程中經(jīng)常碰到輸送化學(xué)氣體,這就需要引進(jìn)耐腐蝕真空泵的新概念。它是利用陶瓷這一特殊介質(zhì)來做過流部分的,真正符合了通常的“耐磨、耐酸、耐堿、耐高溫”的要求。此型號是上海意海最近推出的新產(chǎn)品。

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