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青島華旗科技有限公司為半導(dǎo)體工藝設(shè)備及材料專用設(shè)備研發(fā)、制造廠家。公司制造的半導(dǎo)體工藝設(shè)備覆蓋一、二、三代半導(dǎo)體材料-硅、砷化鎵、氮化鎵等等,高性能磁性材料真空設(shè)備(釤鈷、釹鐵硼等),同時承擔(dān)了部分國家863項(xiàng)目(如半導(dǎo)體白光照明GaN生長的HVPE設(shè)備等)。主要產(chǎn)品系列:擴(kuò)散爐、氧化爐、LPCVD化學(xué)氣相沉積、HVPE晶體生長、真空爐及半導(dǎo)體廢氣處理等。華旗科技擁有十幾年的研發(fā)制造經(jīng)驗(yàn),產(chǎn)品服務(wù)廣泛應(yīng)用于行業(yè)內(nèi)的大專院校科研院所、半導(dǎo)體制造、高性能磁性材料制造的企業(yè)工廠等。華旗科技擁有精良的科研、設(shè)計、制造、服務(wù)團(tuán)隊(duì),為中國電子專用設(shè)備協(xié)會、中國磁性材料與器件協(xié)會等多家協(xié)會會員單位,承接并出色完成了一系列國家項(xiàng)目的專用設(shè)備的設(shè)計制造。專于為半導(dǎo)體集成電路分立器件、太陽能電池、半導(dǎo)體照明LED及磁性材料廠家提供好的專用設(shè)備,工藝含蓋化合物半導(dǎo)體晶體生長、外延、薄膜淀積(氮化硅、氧化硅、多晶硅等)、氧化擴(kuò)散退火(含快退火工藝)合金、真空燒結(jié)等工藝。

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